COSMO-Sinter Series

技術仕様

機種名 COSMO-Sinter Series

プレス数 1プレス(40t) / 最大4プレス(120t)

トレイ数 40tタイプ 1トレイ
120tタイプ 2トレイ

クランプ圧 40t又は120t

トレイサイズ 40tタイプ:177.8*127mm
120tタイプ:165*250mm

マガジン トレイ収納マガジン

金型温度 最大350℃

特徴 トレイ搬送方式
独自の個別フローティング機構で
基板厚みのバラツキ吸収

フィルムアシスト搭載(チップ保護用) 品質保持可能独自の冷却機構搭載

フルオート/マニュアル フルオート装置、
マニュアル装置を選択可能

その他オプション

  • ※窒素供給
  • ※脱気機構
  • ※複数チップ厚みばらつき吸収機構
  • ※酸素濃度計
  • ※焼結圧の個別計測可
  • ※トレーサビリティ対応
  • ※SECS/GEM対応

※印はオプションです。

COSMO-Sinter

COSMO-Sinter Series

少量から大量生産に対応した熱加圧方式シンタリング(焼結)装置

型締め圧は1トレイの40トンと2トレイ焼結可能な120トンから選択可能

120トンタイプの装置は最大4プレスまで対応

1つの基板に複数の厚みが異なるチップを焼結する際、独自の個別チップ フローティング機構で厚みのばらつきの吸収が可能

モールド技術を応用して基板の厚みバラツキを油圧フローティングで吸収し、適切な焼結圧力を保持することが可能

窒素パージ機能にて酸化防止を実現

焼結後に温度監視機能を使い製品に負荷がかからない冷却ユニットを搭載

量産用フルオート装置と、開発評価用マニュアル装置の選択が可能